而全氟烷氧基树脂（PFA）的极高的化学纯度、优异的耐腐蚀性、低的析出特性等独特的性能也使其广泛地应用于了半导体的制造中尤其是那些需要超净的工艺环节。
1. 高纯化学品输送管路与阀门
PFA 制成的管道、接头和阀膜用于输送蚀刻液（如氢氟酸、硫酸）、清洗剂等高纯化学品，避免金属离子污染。
2. 蚀刻与清洗槽体
大型 PFA 衬里槽用于盛放蚀刻剂和超纯水清洗硅片，其抗粘附表面防止残留物附着，保证晶圆表面洁净度。
3. 晶圆载体（Wafer Carrier）与花篮
通过注塑成型制造的 PFA 晶圆载体、花篮在湿法工艺中承载硅片，因其不释放杂质且耐高频次酸、碱清洗。
4. 气相沉积腔室内衬与部件
PFA 用于制作化学气相沉积（CVD）等设备的腔室内衬、气体分配管，防止在高温、腐蚀性气氛下产生颗粒污染。
5. 超高纯水系统管路
采用在PFA的管道中对超纯水的输送手段，不但能有效的防止了水质在输送过程中被管壁的溶出物所污染，而且还能满足半导体级的水质要求。
6. 光刻工艺中的防反射涂层与抗蚀剂组件
PFA 被用于涂覆在光刻掩模或镜片上作为防反射层，并在光刻胶显影槽中作为耐化学药剂的槽体材料。
7. 真空泵工作液
部分全氟聚醚（PFPE）类 PFA 用作真空泵的工作流体，在半导体工艺真空环境中保持稳定且不产生残留。
依托于充分地发挥了PFA的独特的化学惰性、高的纯度及良好的机械成型性等优良的性能，有效地降低了半导体的缺陷率和提高了产品的良率。随着工艺的不断精细化对PFA材料的纯度与性能的要求也在不断的提高了。
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